P03100 - SEMI P31 - 化学増幅型（CA）フォトレジストパラメータのカタログ発行の作業方法 Revision:SEMI P31-0304 - Superseded 注意: 本文書は2002年，投票によりSEMI E6の全面改訂として承認された。

注意: 本文書は2002年，投票によりSEMI E6の全面改訂として承認された。

Curriculum Objectives

The purpose of this Standard is to provide a common format for memory fail datalog specification along with necessary synchronization information enabling an efficient dataflow for volume diagnostics applications for memories

and carried forward much useful information from those sessions into the definition of this Specification

regulators

P03100 - SEMI P31 - 化学増幅型（CA）フォトレジストパラメータのカタログ発行の作業方法 Revision:SEMI P31-0304 - Superseded 注意: 本文書は2002年，投票によりSEMI E6の全面改訂として承認された。Global Micropatterning CommitteeJapanese Micropatterning Committee200419Japanese Regional Standards Committee20042www. semi. org2004319979 CA chemical amplified Referenced SEMI Standards None.